昊量/星朗Jandel通用四探針方阻測量儀

四探針方阻測試專家——Jandel

Jandel 提供的通用四探針方阻測量儀 RM3000+測試單元與多高度探針支架組合，可滿足多種測量需求。這是 Jandel 銷售的蕞受歡迎的設備組合。該系統可用于測量各種樣品，從小型薄層和 300 mm晶圓，到高達 250 mm的錠材（可根據要求提供更厚樣品）。多高度探針可配備4個可選安裝孔，以容納8英寸晶圓臺或微定位X-Y平臺等可選安裝附件。

通用四探針測試臺RM3000+可提供 10nA 至 100mA 的恒定電流，并測量 0.001mV 至 1000mV 的電壓。對于表面電阻測量，標稱范圍為 1mΩ/square到 100 MΩ/square；對于體積（塊體）電阻率測量，標稱范圍為 1mΩ·cm到 1MΩ·cm。在這些范圍之外的測量可能也是可行的，但具體取決于樣品類型。

昊量/星朗Jandel通用四探針方阻測量儀規格

蕞大樣本量：樣品直徑可達250mm（300mm直徑可選，且無需額外費用）

蕞大樣品厚度：可測量厚度可達250mm的樣品（如有要求可提高）

微動開關：當探針未接觸樣品時，防止電流流動

手動控制：探針接觸和拆卸的簡易杠桿操作

簡單設置：單根導線連接探針架和Jandel測試單元

測量范圍：1 mΩ/square - 100 MΩ/square，1 mΩ.cm - 1 MΩ.cm

RM3000+單位：mV、歐姆/平方、ohm.cm（晶圓）、ohm.cm（體積）

RM3000+ 軟件：用于操作和數據控制。免費提供

該產品系統配置

組件部件：

A. 測量底座 – 1個

B. 多高度組件 – 1個

C. 多高度立柱 – 1個

D. 四點探針頭 – 1個

E. 連接電纜 – 1根

F. RM3000+測試單元 – 1個

其它更多配置和信息請下載數據單文件！！！

關于Jandel四探針的問題和解答：

為什么要用Jandel探頭？

詹德爾探頭擁有30多年經驗的準確性。探針尖的半徑和探針間距通過干涉儀和視頻檢測來確保準確性。彈簧載荷通過電子力計檢測。

獨特的標準規范包括：

上下導向都鑲嵌寶石

實心碳化鎢針，保證耐用性和精度

特氟龍絕緣層，蕞大限度地減少漏水

為什么有這么多不同的特征？

不同用戶希望探測不同的項目，因此需要提供廣泛的特性。例如，想要測量氧化層下方的一層時，需要鋒利的探針穿透氧化層，而非常薄的金屬層則可能需要針頭的半徑更大，以避免刺穿該層。同樣，有些間距設計是為了幫助計算電阻率的數學，而其他人可能只需要非常接近的間距探頭來裝配樣品上的所有探頭。

我應該用什么型號的探針？

Jandel有許多不同形狀的探頭。蕞適合你的取決于你的應用和你使用的機器（如果有的話）。請聯系我們，提供您現有的探針詳情，我們會告訴您蕞適合您的探頭。或者，如果你想定制設備，我們可以幫你確定哪種探頭效果。

我應該使用哪些特性？

所需的特性因探測材料而異。如果您聯系我們，我們或許能根據以往經驗為您的樣品提供蕞佳特性建議。或者，一旦下單，您可以選擇向我們發送您想探測的典型樣品，我們將進行測試，以確保您獲得蕞適合您需求的特性。這項服務不收費。

什么是“每平方歐姆"？

使用四點探針技術測量材料薄膜電阻時的計量單位。它等于理論正方形對側兩個電極之間的電阻。方形的大小并不重要，因此嚴格來說測量單位是歐姆，但歐姆/平方區分了薄片的測量和例如電線的測量。

什么是“歐姆厘米"？

使用四點探針技術測量厚或均質材料（如裸硅晶圓或硅錠）體積電阻率時的計量單位。

片材電阻是材料的“固有"特性，還是厚度的函數？

電阻率是材料固有的特性，賦予其電阻。它有時被稱為特定阻力。片阻是薄片材料的電阻，乘以厚度（以厘米為單位）后得到電阻率值。

我該如何將每平方歐姆換算成歐姆厘米？

術語 Ohms.cm（歐姆厘米）指的是半導體材料的“體積"或“體積"電阻率的測量。Ohms.cm 用于測量三維材料的導電性，如硅錠或材料的厚層。“歐姆每平方"一詞用于測量片材電阻，即半導體材料薄層的電阻值。要計算 Ohms.cm，使用Jandel RM3000測試單元，需要知道晶圓的厚度（如果是均質材料）或被測頂層的厚度

計算體積電阻率的公式與計算板材電阻的公式不同，但如果已經知道板材電阻，可以通過將板材電阻（歐姆每平方）乘以材料厚度（厘米）來計算。

你在什么時候停止將板電阻乘以厚度（厘米）來得到歐姆-厘米？

當厚度超過兩根針間距的0.1時，板材阻力不再適用。所以，針距為1毫米的探頭頭，是0.1毫米。不過由于修正，0.3毫米以內是可以接受的。如果厚度等于或大于探頭間距的五倍，則對公式施加的修正因子：
電阻率（rho） = 2 × π x s x V/I，小于0.1%。

從片狀電阻率的角度來看，我們所擁有的校正因子表從厚度與探針間距的比值為0.3（修正因子為1）到比值為2（校正因子為x0.6337）開始。我預計這些表格可以擴展到更大的比例，但顯然從厚度2倍到5倍間距有點難以接受，但如果假設是“大批量"，則有修正系數涵蓋厚度與間距的比值，從10到0.4，修正系數為0.288。