| 品牌 | 昊量光電 | 產品型號 | SM-110PO(Pro)/SM-110SO(Standard) |
|---|---|---|---|
| 測量原理 | 反射分光法（光學干涉法） | 測量膜厚范圍 | 0.1–100μm（Pro單層） |
| 多層測量 | Pro支持3層，Standard支持單層 | 測量波長范圍 | 400–1000nm |
| 測量重復性 | 2.1σ<0.01μm（SiO? 1μm） | 測量光斑直徑 | Φ1mm及以下 |
| 數據輸出 | CSV文件，可保存至U盤 | 主機尺寸 | 約H54×W138×D198mm |
| 主機重量 | 約1.1kg |
昊量光電/星朗浩宇Smart手持式膜厚測量儀
便攜式現場測量手持式膜厚儀，數據庫全，測量簡便，快速現場測量簡單易上手！
便攜式現場測量該產品Smart系列
產品簡介
昊量光電/星朗浩宇Smart手持式膜厚測量儀是一款專為便攜式攜帶和測量開發的即時測量解決方案。它采用光學干涉的原理測量薄膜厚度，無需校準曲線即可隨時隨地對樣品進行非破壞、非接觸式測量。
該產品采用反射分光法（光學干涉法）測量薄膜厚度。例如在測量基底上的薄膜時，從樣品上方入射的光會在薄膜上發生發射，穿透薄膜的光會在基底與薄膜的界面處發生反射。通過測量不同反射光之間的光程差引起的相位差所產生的光學干涉現象，可根據測得的反射光譜與折射率計算出薄膜厚度。
該產品主機尺寸小，重量僅有1.1kg，外出攜帶便攜，數據庫豐富，操作界面友好，初學者也能快速完成測量?？筛鶕y量測量場景選擇配件，可測量狹窄區域樣品，非接觸樣品以及遠離主機測量。
該產品產品特點
非接觸式、非破壞式測量
使用分光干涉法對樣品進行非接觸、非破壞式的測量便攜、易于攜帶
主機尺寸較小，重量僅約1.1kg，便于攜帶測量簡便
擁有簡潔直觀的UI設計，初學者也能輕松完成測量可適配多層膜測量
Pro版手持測量儀可支持測量3層薄膜無需檢量線
分光干涉法使得其在部分情況下可以無需設置檢量線直接進行檢測
該產品技術參數指標
產品型號 | SM-110PO (Pro) | SM-110SO (Standard) |
測量原理 | 反射分光法（光學干涉法） | |
測量膜厚范圍 | 0.1–100 μm (單層), 1–100 μm (多層) | 1–50 μm (單層) |
支持多層測量 | 支持 3 層 | 單層 |
顯示反射率 / 功率譜 | 支持 | 不支持 |
測量波長范圍 | 400 – 1000 nm | |
測量重復性 | 2.1σ < 0.01 μm (SiO? 1 μm) | |
測量光斑直徑 | Φ1 mm 及以下 | |
數據輸出類型 | 可導出為 CSV 文件并保存至 U 盤 | |
主機尺寸 | 約 H54 × W138 × D198 mm (含突出部分) | |
主機重量 | 約 1.1 kg | |
SM-110PO (Pro)適用于多層薄膜的機型，SM-110SO (Standard)適用于單層薄膜的入門級機型。
該產品應用場景
該產品可進行現場即使測量，如SiO2，SiN，光刻膠，氟樹脂聚酰亞胺，丙烯酸樹脂，有機硅，RET材料，TAC材料，PP材料等薄膜的測量。
問答小貼士
對于遠距離的場景或狹窄場景的樣品能測量嗎？
可以，該產品有多功能配件可選，有狹窄區域使用的筆型探頭，遠離主機測量的長光纖，用于非接觸測量的非接觸式平臺，能夠適應大多數場景的測量。SM-110PO (Pro)系列和SM-110SO (Standard)系列如何選擇？
SM-110PO (Pro)系列可以支持3層膜以下測量，SM-110SO (Standard)系列僅支持單層膜測量。測量數據可以導出嗎？
可以，該產品可以將數據保存到U盤，也能記錄歷史測量數據。
便攜式手持膜厚測量儀，隨時隨地快速測量。
上海市徐匯區虹梅路2007號6號樓3樓
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