| 品牌 | 昊量光電 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 | 設(shè)備尺寸 | 2010×1200×1425 mm |
| 重量 | 650 kg | XY行程 | 350×350 mm |
| Z軸行程 | 100mm | XY分辨率 | 50nm |
| 傳感器分辨率 | 3nm | 測(cè)量范圍 | 25mm |
| 傳感器 | 白光共焦/WLI/紅外 |
昊量光電/星朗浩宇立式輪廓形貌測(cè)量?jī)x
cyberSCAN CT350T是一種非接觸式雙面光學(xué)形貌測(cè)量設(shè)備，具有350mm XY定位平臺(tái)位于大理石平臺(tái)上下兩側(cè)的傳感器分別安裝在100 mm高精度自動(dòng)Z軸上，同步采集高度測(cè)量數(shù)據(jù)并在垂直方向上保持物理上的同軸安裝，以確保差分厚度測(cè)量的高精確性SCANSUITE分析軟件可同時(shí)生成上、下表面的二維剖面或三維形貌數(shù)據(jù)，并計(jì)算出相應(yīng)測(cè)量位置的形貌總厚度。運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)利用高精度的直線電機(jī)，通過4kHz采樣率觸發(fā)傳感器，使掃描速率大化。搭配的白光共焦傳感器的縱向分辨率最小可達(dá)3nm，量程最高可達(dá)25mm。通過特制的安裝板，該系統(tǒng)可作為標(biāo)準(zhǔn)的單面光學(xué)表面輪廓儀使用，同時(shí)還可保留T型雙面測(cè)量設(shè)備厚度測(cè)量的多功能性。該系列設(shè)備還可提供多種規(guī)格版本，如CT250T及CT600T以滿足多種應(yīng)用場(chǎng)景。
昊量光電/星朗浩宇立式輪廓形貌測(cè)量?jī)x產(chǎn)品應(yīng)用：
CT350T主要用于測(cè)量基板，晶圓，工業(yè)零件等產(chǎn)品的絕對(duì)厚度及TTV。測(cè)量精度不受樣品材料或表面特性的影響，同時(shí)也對(duì)樣品厚度也沒有任何要求，從小至幾微米厚度的樣品到幾厘米厚的樣品都可以輕松測(cè)量。應(yīng)用包括：
任何規(guī)格材料的半導(dǎo)體晶圓玻璃晶圓等
工業(yè)零部件
燃料電池元件
醫(yī)療器件
特種薄膜材料等
該產(chǎn)品軟件特點(diǎn)：
cyberTECHNOLOGIES有的軟件系統(tǒng)SCAN SUITE將系統(tǒng)控制、數(shù)據(jù)收集和數(shù)據(jù)分析集成于一體，有龐大的數(shù)據(jù)分析功能可進(jìn)行數(shù)據(jù)補(bǔ)償，形狀去除(平面，球形，不規(guī)則形狀，噪點(diǎn)等),濾波分析，剪裁，提取輪廓，特征識(shí)別等。用戶可生成分析模版保持分析的連續(xù)性和一致性。
進(jìn)階版自動(dòng)化分析軟件ASCAN可提供：
測(cè)量過程全自動(dòng)化
模塊化程序構(gòu)建
內(nèi)置偏移量和對(duì)位校正
內(nèi)置SPC圖表與報(bào)告功能
用戶自定義的數(shù)據(jù)輸出格式
支持條形碼或用戶字段輸入
重復(fù)性測(cè)量定義
該產(chǎn)品硬件特點(diǎn)：
快速、準(zhǔn)確的雙掃描系統(tǒng)
4KHz(14 kHz可選)采樣頻率
多傳感器裝配
2D截面和3D形貌及3D總厚度測(cè)量
雙通道氣浮隔振系統(tǒng)，雙重防撞保護(hù)措施
高分辨率白光共焦傳感器
白光共焦傳感器分辨率最小可達(dá)3nm,測(cè)量范圍最大可達(dá)25mm
高分辨率離軸攝像機(jī)及分立式組合光源
支持SMEMA接口標(biāo)準(zhǔn)以及SECS/GEM通訊協(xié)議
該產(chǎn)品系統(tǒng)組成：
XYZ高精密直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
雙共焦傳感器(類型依項(xiàng)目需求而定， 參數(shù)見傳感器規(guī)格)
大理石平臺(tái)與氣浮雙重隔振系統(tǒng)
ESD安全防護(hù)外罩
操縱桿控制
工業(yè)級(jí)PC工控機(jī)
預(yù)安裝Windows系統(tǒng)及SCAN SUITE軟件
寬屏顯示器，鍵盤，鼠標(biāo)，參考手冊(cè)
該產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格：
| 尺寸及重量 | 2010×1200×1425 mm,650kg |
| 傳感器 | 白光共焦傳感器；WLI及CFM顯微鏡；紅外傳感器 |
| cmos像素 | cyberMACROI:5MP; cyberMACRO Il:14MP |
| 照明光源 | 同軸+環(huán)形+側(cè)邊 |
| 電動(dòng)操作桿 | 搖桿控制器(選配) |
| XY軸定位分辨率 | 50nm |
| XY軸掃描行程 | 350 mm×350 mm |
| 電動(dòng)z軸 | 行程100mm,分辨率50nm |
| 工控機(jī) | 最新款I(lǐng)NTEL處理器；Windows10Pro操作系統(tǒng)；寬屏顯示器 |
| 電源要求 | 100-240VAC,50-60 Hz |
| 工作環(huán)境 | 溫度20°-30°C;濕度20-80% |
| 載物臺(tái)表面尺寸 | 500×500 mm |
| 樣品最大重量 | 10 kg |
上海市徐匯區(qū)虹梅路2007號(hào)6號(hào)樓3樓
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