| 品牌 | 昊量光電 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,綜合 | 掃描行程 | 200 mm x 200 mm |
| Z軸行程 | 100mm | XY分辨率 | 50nm |
| Z軸分辨率 | 3nm | 傳感器 | 白光共焦傳感器 |
| 設(shè)備尺寸 | 760 x 530 x 475mm |
昊量+星朗小型桌面式表面輪廓量測設(shè)備
cyberSCAN VANTAGE 2是一款三維表面輪廓測量系統(tǒng)。通過結(jié)合高分辨率的共焦傳感技術(shù)及高精度XY位移平臺，該系統(tǒng)可以用x-，y-，z-的最高分辨率掃描200 ×200mm的區(qū)域。所有系統(tǒng)組件集成一體，不需要外部控制器，系統(tǒng)僅通過一根USB線和一根網(wǎng)線連接到控制PC。通過ScanSuite軟件系統(tǒng)實現(xiàn)復(fù)雜表面分析和自動化測量。
其一體化設(shè)計、潔凈室兼容性與全自動化能力，使其成為半導(dǎo)體、光伏、光學(xué)涂層、MEMS 等領(lǐng)域從研發(fā)到量產(chǎn)的核心精密檢測設(shè)備。
昊量+星朗小型桌面式表面輪廓量測設(shè)備產(chǎn)品應(yīng)用：
cyberSCAN VANTAGE 2結(jié)構(gòu)簡單，用途豐富。主要應(yīng)用于印刷電路的分析和質(zhì)量 控制，如陶瓷或其他材料基底的線路板膜 厚測量；太陽能電池導(dǎo)線體積，厚度測量； 環(huán)氧樹脂膜厚等測量。同時還可以適用于 高輪廓物體(如焊球、MEMS傳感器 )的幾 何參數(shù)特征，位置測量，以及平面度，粗 糙度，共面性分析等其他應(yīng)用。
印刷電路、系統(tǒng)或器件
封裝芯片激光打標深度
封裝芯片激光打標深度
透明材料或涂層
八寸晶圓厚度
翹曲度Warp/Bow
該產(chǎn)品軟件特點：
cyberTECHNOLOGIES的軟件系統(tǒng) SCAN SUITE將系統(tǒng)控制、數(shù)據(jù)收集和數(shù)據(jù) 分析集成于一體，有龐大的數(shù)據(jù)分析功能可 進行數(shù)據(jù)補償，形狀去除（平面，球形，不 規(guī)則形狀，噪點等），濾波分析，剪裁，提 取輪廓，特征識別等。用戶可生成分析模版 保持分析的連續(xù)性和一致性。 進階版自動化分析軟件ASCAN可提供：
測量過程全自動化
模塊化程序構(gòu)建
內(nèi)置偏移量和對位校正
內(nèi)置 SPC圖表與報告功能
用戶自定義的數(shù)據(jù)輸出格式
支持條形碼或用戶字段輸入
重復(fù)性測量定義
該產(chǎn)品硬件特點：
直線電機高精度高速率掃描，分辨率達 50nm
白光共焦傳感器分辨率最小可達3 nm， 測量范圍最大可達25 mm， 測量速率：4 kHz
高分辨率離軸攝像機及分立式組合光源
該產(chǎn)品系統(tǒng)組成：
高精度XY定位平臺，直線電機驅(qū)動
高精度共焦傳感器，可升級至雙量測頭
高清晰定位相機與四通道獨立控制的照 明模組
預(yù)安裝Windows操作系統(tǒng)及ScanSuite 軟件許可證
該產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格：
| 尺寸及重量 | 760 x 530 x 475mm，80kg |
| 傳感器 | 白點光源白光共焦傳感器 |
| cmos像素 | cyberMACRO I: 5MP; cyberMACRO II: 14MP |
| 照明光源 | 同軸+環(huán)形+側(cè)邊 |
| 電動操作桿 | 搖桿控制器（選配） |
| XY軸定位分辨率 | 50nm |
| XY軸掃描行程（電動） | 200 mm x 200 mm |
| 電動z軸 | 行程100mm，分辨率50nm |
| 工控機 | 最新款I(lǐng)NTEL處理器; Windows10Pro操作系統(tǒng); 寬屏顯示器 |
| 電源要求 | 100-240V AC, 50-60 Hz, 2 amps (240 V), 5 amps (100 V) |
| 工作環(huán)境 | 溫度20° - 30°C; 濕度20 - 80%; 海拔 < 2000 米 |
| 載物臺表面尺寸 | 305 x 305 mm |
| 樣品最大重量 | 6-8 kg |
上海市徐匯區(qū)虹梅路2007號6號樓3樓
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