Xeryon微型線性壓電位移臺(tái)的XLA系列（XLA-1/3/5/10）憑借其超緊湊設(shè)計(jì)、納米級(jí)精度、高速度和Crossfixx™超聲波壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)，在多個(gè)高精度運(yùn)動(dòng)控制領(lǐng)域具有優(yōu)勢(shì)。

XLA系列微型線性壓電位移臺(tái)核心參數(shù)-運(yùn)動(dòng)控制的突破

XLA系列核心參數(shù)

• 大行程5-285mm

• 分辨率78nm-1250nm

• 重復(fù)精度80nm

• 速度5.5mm/s-85.6mm/s
  

選型建議

·高精度需求：優(yōu)先選擇XLA-1或XLA-3（分辨率達(dá)78nm，雙向重復(fù)精度±160nm）。

·大負(fù)載應(yīng)用：選擇XLA-10（驅(qū)動(dòng)力10N，保持力10N）。

·緊湊設(shè)計(jì)：XLA-1（僅5.4mm厚度）適合空間受限場(chǎng)景。

·高速運(yùn)動(dòng)：開環(huán)版本均支持1000mm/s。

控制器兼容性

·所有型號(hào)均支持以下控制方式：

·Windows圖形界面

·LabVIEW/Matlab腳本

·C++/Python庫(kù)

注：閉環(huán)版本需搭配專用控制器（XD-OEM/XD-A），開環(huán)版本內(nèi)置控制器。

應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體與光刻設(shè)備

·光刻機(jī)精密對(duì)準(zhǔn)：
XLA-10的高分辨率（78nm）和雙向重復(fù)精度（±160nm）適合晶圓臺(tái)的微米級(jí)定位。（如ASML光刻機(jī)中的掩模版調(diào)整）

·晶圓檢測(cè)設(shè)備：
XLA-5的快速響應(yīng)（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)定位時(shí)間25ms）用于自動(dòng)對(duì)焦和掃描平臺(tái)。

·優(yōu)勢(shì)

·無(wú)磁干擾

·耐真空兼容（可選HV版本）

2. 生命科學(xué)與醫(yī)療設(shè)備

·共聚焦顯微鏡

·微創(chuàng)手術(shù)機(jī)器人

3. 光學(xué)與光子學(xué)

·自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)

·激光加工設(shè)備

·技術(shù)亮點(diǎn)

·無(wú)振動(dòng)運(yùn)動(dòng)（超聲波電機(jī)）
·支持LabVIEW/Python控制（快速集成）

4.工業(yè)自動(dòng)化與檢測(cè)

5.科研與定制化儀器

·低溫實(shí)驗(yàn)環(huán)境

·超真空腔體

6.新興技術(shù)領(lǐng)域

·AR/VR光學(xué)模組

·生物打印