大角度閉環(huán)微型振鏡

簡要描述：上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的微型振鏡是一款體積緊湊的大鏡面微型振鏡。
大角度閉環(huán)微型振鏡促動器技術(shù)成熟的電磁驅(qū)動。單個鏡面可提供二維光束偏轉(zhuǎn)，鏡面尺寸可達(dá)到15mm，該設(shè)備不僅可以提供較大的鏡面尺寸，光學(xué)偏轉(zhuǎn)角度更是可達(dá)到±50°該系統(tǒng)包含一個位置反饋系統(tǒng)，設(shè)備的整體分辨率可達(dá)到5mrad。

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更新時間：2025-07-23
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精密定位系統(tǒng)/平移臺

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大角度閉環(huán)微型振鏡

大鏡面，大偏轉(zhuǎn)角度閉環(huán)反饋微型振鏡

所屬類別：光機(jī)產(chǎn)品/精密定位控制系統(tǒng) ? 快傾鏡/轉(zhuǎn)鏡/旋轉(zhuǎn)平臺

大角度閉環(huán)微型振鏡

負(fù)責(zé)人姓名：李工(William)

大偏轉(zhuǎn)角度微型振鏡

上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的微型振鏡是一款體積緊湊的大鏡面微型振鏡。

該振鏡促動器技術(shù)成熟的電磁驅(qū)動。單個鏡面可提供二維光束偏轉(zhuǎn)，鏡面尺寸可達(dá)到15mm，該設(shè)備不僅可以提供較大的鏡面尺寸，光學(xué)偏轉(zhuǎn)角度更是可達(dá)到±50°該系統(tǒng)包含一個位置反饋系統(tǒng)，設(shè)備的整體分辨率可達(dá)到5mrad。

u 主要特點(diǎn)：

l 大的鏡面尺寸

l 大的光學(xué)偏角最大可達(dá)+/- 50°

l 閉環(huán)控制精度可達(dá)5mrad

u 主要應(yīng)用：

l 激光雷達(dá)

l 自動駕駛輔助系統(tǒng)

l 視覺（視場擴(kuò)展、縮放）

l 計(jì)量生物學(xué)&診斷設(shè)備

l 3D打印

u 主要參數(shù)：

Actuator Type	4-Quandrant (2 axis, bi-directional)
Mechanical tilt angle DC	±25 X axis; ±25 Y axis	°
Mechanical tilt angle dynamic	±25 X axis; ±25 Y axis	°
Mirror diameter	15	mm
Center of rotation to mirror surface	1.3	mm
External diameter	30	mm
Zero drift	25	μrad/°C (Max)
Resolution (closed loop)	<5	μrad
Repeatability RMS (typical)	30-100	μrad
Full scale bandwidth Sine wave (+/-25°)	20	Hz
Small signal bandwidth	350	Hz
Large angle step response (20° step)	7.5	ms
Small angle step response (0.1° step)	1.4	ms